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JULIGHT VSM-1000-MICRO可用于微型物體(如 MEMS、MOEMS 等) 的振動分析,它將一個自混合激光測振儀頭 (OH-1000-MICRO) 集成在定制設(shè)計的高性能數(shù)字顯微鏡上, 由高性能光學(xué)和機械組件構(gòu)成,專用于振動測量優(yōu)化及微型物體的可見性和聚焦性能,特別適用于對微型測試對象進行振動測量,尤其是當(dāng)它們具有非平面形狀時。顯微鏡在可見光 (VIS) 和紅外線 (IR) 中具有高透射率,即激光測振儀的不可見測量激光、紅色可見激光指示器和照明光具有高透射率。
顯微鏡特性:
靈活、模塊化、輕便和高性能的顯微鏡機身,帶有帶雙旋鈕(粗/精)的精確手動聚焦滑塊。聚焦旋鈕可將被測物體的相機圖像和激光束精確聚焦到目標(biāo)表面上。
長立式支架允許將顯微鏡定位在任何所需的高度,最大測試件尺寸為200mm (W)×200mm (D) ×300mm (H) 的物品(例如,支架、振動器、其他固定裝置)。
OH-1000-MICRO光學(xué)頭配有專用讀出電子板,電源集成到VSM-1000主機中。
選項 用于光纖照明器的集成專用端口
-照明光插入顯微鏡路徑,可以對物體的聚焦光斑進行均勻、高亮度的照明。
-帶柔性光纖束電纜的大功率 LED 照明器,連接到顯微鏡的照明輸入端口。
-可以使用照明器外殼上的旋轉(zhuǎn)旋鈕調(diào)暗光強度。
X-Y 平移階段。立式顯微鏡支架安裝在精密的大尺寸 X-Y 平移臺上,可沿顯微鏡主體的水平方向精確移動,從而使激光測振儀的測量光束精確對準(zhǔn)目標(biāo)表面的所需點.驅(qū)動類型:手動(標(biāo)準(zhǔn))。行程:13 毫米。
[選項] 物鏡旋轉(zhuǎn)頭。它允許輕松更換多達三個M26 螺紋物鏡,只需旋轉(zhuǎn)即可完成更換。
物鏡:
5X(標(biāo)準(zhǔn)):工作距離:45 mm,數(shù)值孔徑:0.14。該物鏡結(jié)合了長工作距離和寬視場,適用于較大物體(尺寸從50μm 到3mm)的振動測量,或激光在較小物體上的粗對準(zhǔn)。攝像頭視野為3.3mm×2.6mm,攝像頭分辨率為2.6um。
20X(可選)工作距離:30.8 mm,數(shù)值孔徑:0.29。該物鏡結(jié)合了長工作距離和高倍率,適用于小物體(尺寸從10μm到500μm)的振動測量。被測物體焦平面上的相機視野為0.82mm x0.65mm,相機分辨率為0.8um。
50X(選項):工作距離:20.5 mm,數(shù)值孔徑:0.42。該物鏡結(jié)合了長工作距離和高倍率,適用于極小物體(尺寸從2μm到300μm)的振動測量。被測物體焦平面上的相機視場為0.33mm x0.26mm,相機分辨率為0.4um。
單色 (VIS-NIR) 相機,具有 1 百萬像素分辨率、1/2" CCD 傳感器、USB 2.0 接口和適用于 PC 的可視化/處理軟件。
測量區(qū)域的大小(手動 X-Y 平移臺) | 13 mm x 13 mm |
顯微鏡相機上的可視區(qū)域 | 2mm×2mm |
相機分辨率 | 1.4 μm |
激光波長 | Pout < 1 mW @ 650 nm(指示激光,可見) Pout < 10 mW @ 1550 nm(測量光,不可見) |
激光安全等級 | CLASS 1 |
輸出信號 | BNC接口直接輸出位移/速度信號,模擬電壓輸出,適配主流數(shù)采 |
頻率范圍 | DC-100kHz(最大可擴展至25MHz) |
噪聲等效位移 | 10 pm/ √Hz |
速度分辨率 | 10(μm/s)/ √Hz@2MHz 8(nm/s)/ √Hz@1kHz |
測量精度 | 1% |
工作距離 | 45.0mm(5X物鏡) 30.8 mm(20X物鏡) 20.5 mm(50X物鏡) |
光斑尺寸 | 20μm(5X物鏡) 8 μm(20X物鏡) 4 μm(50X物鏡) |
最大振幅 | 2mm(5X物鏡) 0.75m(20X物鏡) 0.5mm(50X物鏡) |
最大目標(biāo)速度 | 1m/s@50kHz 10m/s@1MHz 30m/s@3MHz |

JULIGHT VSM-1000-MICRO 系統(tǒng)草圖,包括:(從左起)OH-1000-MICRO 激光測振儀光學(xué)頭、數(shù)碼顯微鏡(帶照明器選項、80 毫米鏡筒和數(shù)碼相機)、帶變焦塊的垂直平臺和 X-Y 手冊翻譯階段。
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